独特的腔体空间设计：保证大尺寸样品的温场均匀性≤1%。全自动智能控制：采用全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空、冷却水等均可实现自动控制。超高安全系数：采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施，全方位保障设备使用安全。国产退火炉：拥有自主研发技术和制造能力，能快速反应客户售后需求。

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RTP-3-08的产品特点可测大尺寸样品：可测单晶片样品的尺寸为1-8英寸。压力控制系统创新设计：高精度控制压力，以满足不同的工艺要求。存储热处理工艺：方便工艺参数调取，提高实验效率，数据可查询。快速升温：最高升温速率可达150℃/s。程序设定与气路扩展：可实现不同温度段的精确控制，进行降温段的自动转接，并能够对工艺菜单进行保存，方便调用。采用MFC精确控制气体流量，最多可支持6路气体，实现不同气氛环境（真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等）下的热处理。全自动智能控制：采用全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空、冷却水等均可实现自动控制。超高安全系数：采用炉门安全温度开启保护、温控器开

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产品特点成熟的测试模型：采用动态法测量泽贝克系数；小巧轻便：设备重量4.1kg，体积不到3包A4纸，单手可托起；一体化设计：电容式触摸屏控制、不需要另配操作电脑和真空泵；产品特点成熟的测试模型：采用动态法测量泽贝克系数；小巧轻便：设备重量4.1kg，体积不到3包A4纸，单手可托起；一体化设计：电容式触摸屏控制、不需要另配操作电脑和真空泵；

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